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  • 十二五国家02科技重大专项

    “45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材的开发与产业化”项目,列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项(02重大专项)。

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  • 十一五国家02科技重大专项

    2009年4月公司实施的“300mm硅片工艺用Al、Ti、Ta靶材制造技术研发与产业化”,列入国家极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项(02科技重大专项)。?..

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  • 国家高技术产业化发展项目

    为了打破国外企业的垄断局面,填补国内液晶显示器用靶材的空白,公司2009年开始实施年产5千个大尺寸液晶显示器用靶材生产项目。项目列入国家高技术产业发展项目计划,..

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  • 国家电子信息产业发展基金项目

    项目按照立项要求,开展各项研究任务,特别是在技术研究和创新方面,研究了金属靶材的微观组织结构(晶粒、织构)对半导体生产过程中溅射性能的影响,通过塑性加工以及热处..

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  • 国家863重点项目

    项目研究了金属靶材的微观组织结构(晶粒、织构)对薄膜液晶显示器生产过程中溅射性能的影响,通过塑性加工以及热处理工艺来精确控制靶材的晶粒以及织构,并形成成熟稳定的..

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